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      1. 產品中心

        Products

        電鍍設備
        產品概述: Classone是致力于單片電鍍設備的世界知名設備提供商, 產品涵蓋2”~ 8”主流電鍍工藝,廣泛應用于三五族(GaAs / SiC )、GaN功率及射頻器件、VCSELs器件等化合物產業,以及MEMS和Si基半導體產業。銷售聯系方式:李安芃 18918393270。
        產品描述:

        Classone是致力于單片電鍍設備的世界知名設備提供商, 產品涵蓋2”~ 8”主流電鍍工藝,廣泛應用于三五族(GaAs / SiC )、GaN功率及射頻器件、VCSELs器件等化合物產業,以及MEMS和Si基半導體產業。

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        儀器簡介:

        配置:2”~8” 手動2腔 / 全自動4腔(片盒對片盒) / 全自動8腔(片盒對片盒)

        領域 :三五族(GaAs / SiC),GaN功率及射頻器件、VCSELs的器件等化合物產業及MEMS和Si基半導體產業等

        制程 : 單片金屬電鍍包含,Au,Cu,Ni,Sn,Ag, In,SnAg等金屬

        特點:

        Classone公司有多年研發及制造單片電鍍設備的技術經驗,團隊的主要技術人員來自某12寸單片電鍍設備的廠家。

        Classone設備具有高穩定性與高可靠度

        Classone有的軟硬件設計及完善QC系統

        Classone設備配置靈活,包含手動、半自動、全自動4腔或者8腔(片盒對片盒)型號滿足實驗室研發及量產客戶需求

        Classone單片電鍍設備在化合物半導體行業內高占有率:目前世界范圍內裝機數量超過100臺

        Classone電鍍設備主要技術優勢:

        單片的face-down電鍍方式

        接觸樣片的電極和密封環的分體設計,防止密封環釋放的時候黏連樣片造成碎片

        流場通過diffuser的過濾,確保接觸樣片的區域佳的電鍍液濃度均勻性

        Au電鍍利用獨特的硬件設計,防止電鍍頭旋轉造成的電鍍圖形表面斜面的缺陷;

        Cu電鍍,電鍍液和添加劑的單向通道設計,防止設備的陽極燒添加劑,節省添加劑成本超過90%;

        對高深寬比的圖形側壁電鍍均勻性極佳。

        應用領域:

        三五族化合物半導體(GaAs / SiC,GaN功率及射頻器件)

        MEMS微機電

        濾波器器件

        石英基底的光通訊器件

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        Au材料孔的側壁及底面電鍍

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        Cu材料孔的填充

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        SnAg/Cu的多層電鍍

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