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      1. 產品中心

        Products

        FRT
        產品概述: FRT Microprof系列設備是針對半導體行業的樣片厚度及TTV/BOW/Warp翹曲檢測的設備方案。銷售聯系方式:奚丹丹 18918393337。
        產品簡介:

        FRT LOGO.JPG

        FRT1.JPG

        FRT2.JPG

        主要應用:

        適用于硅片Si、化合物(GaAs, InP, SiC, GaN)樣片的整體厚度檢測及TTV/BOW/Warp翹曲等幾何參數檢測,該設備可以兼容透明片和不透明片。


        主要功能:

        FRT Microprof系列設備是針對半導體行業的樣片厚度及TTV/BOW/Warp翹曲檢測的設備方案。該設備利用白光的光源,上下雙探頭的設計,測試時樣片放置在上下兩個探頭的中間位置,一次測試可以快速的提供樣片厚度及幾何參數相關的所有信息:厚度,TTV,Bow,Warp,TIR,LTV等。

        同時該設備可以搭載紅外IR的探頭,該探頭可以穿透Si/GaAs等材料,監控背面減薄制程前后Si片或者GaAs片的厚度。FRT Microprof系列設備以其精準的測量能力,非接觸的測量方式,快速的測試速度,上下雙探頭符合SEMI標準的測試方式,使得該設備在半導體,MEMS,在化合物外延領域擁有很高的市場占有率。

        主要特點:

        ◆ 標準夾具適用于從2英寸到12英寸的樣品; 

        ◆ 可用于不透明及透明的材料的厚度及TTV/BOW/Warp翹曲檢測

        ◆ 該設備選配的IR紅外探頭可以穿透Si/GaAs等材料,檢測某一層Si/GaAs的厚度 

        ◆ 可用于:Si/GaAs等基片的來料檢測;外延EPI的監控;背面減薄制程的監控

        ◆ 設備配置涵蓋了手動Microprof200/300和自動傳輸模式Microprof200/300 MHU  

        ◆ 該設備具有mapping功能,可以多點測試后提供樣片測試的mapping圖。 

        ◆ 該設備內部內建有樣片厚度的標準片,校準設備方便,準確,快捷。

        應用行業:

        ◆ 化合物半導體:GaAs,InP, SiC,GaN 

        ◆ 硅基器件前段:功率器件,MEMS,射頻MEMS

        ◆ 硅基器件后段:8”和12”的封裝及bumping線

        ◆ 光通訊:石英材料類

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