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      1. 產品中心

        Products

        Muetec
        產品概述: Muetec設備是一款廣泛適用于硅基半導體以及化合物半導體行業的多功能量測和檢測設備,Muetec設備搭配多個波段的光源,從DUV到UV、可視光、紅外波段,用以實現不同量測的需求。銷售聯系方式:胡佳俊 18918393271。
        設備簡介:

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        Muetec設備是一款廣泛適用于硅基半導體以及化合物半導體行業的多功能量測和檢測設備,Muetec設備搭配多個波段的光源,從DUV到UV、可視光、紅外波段,用以實現不同量測的需求。自動對焦功能模塊及機械手臂和片盒,可以實現對多尺寸樣片( 6”和8”)的全自動關鍵線條寬度和套刻檢測、缺陷檢測, 以及薄膜厚度量測,其高重復性和高穩定性的特性使其適用于大規模生產型客戶。

        主要應用:

        ◆Critical Dimension關鍵線寬量測;

        ◆套刻精度量測;

        ◆Pattern 缺陷檢測;

        ◆薄膜厚度量測;

        ◆快速Marco缺陷檢測。

        應用行業:

        ◆ 化合物半導體:GaAs,InP, SiC,GaN 

        ◆ 硅基器件前段:功率器件,MEMS,射頻MEMS

        ◆ 硅基器件后段:8”和12”的封裝及bumping線

        ◆ LED、光通訊、石英材料類

        ◆ 掩膜版的CD量測和缺陷檢測

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