1. <object id="auqmx"></object>

    <strike id="auqmx"></strike>
  2. <tr id="auqmx"></tr>
  3. <object id="auqmx"></object>
      <del id="auqmx"></del>

      <pre id="auqmx"></pre>
    1. <center id="auqmx"></center>
    2. <tr id="auqmx"></tr>
      1. 產品中心

        Products

        Candela®8720
        產品概述: KLA Candela?8720面缺陷檢測設備是針對半導體材料的表面缺陷的檢查分析儀器。銷售聯系方式:馬云昊 18918393260。
        設備簡介:

        01.png8720.JPG參數1.JPG參數2.JPG

        應用:

        ◆ 硅片Si、化合物(GaAs, InP, SiC, GaN)樣片表面缺陷的檢查分析,包含微粒、劃傷、坑點、污染、痕跡,同時也可以添加PL功能用以檢測某些外延EPI缺陷。該設備可以兼容透明片和不透明片。

        主要功能:

        KLA Candela?8720面缺陷檢測設備是針對半導體材料的表面缺陷的檢查分析儀器。該設備利用雙束激光掃描樣品的整個表面,通過5個頻道(散射光頻道、反射光頻道、相移頻道、Z頻道以及PL頻道)的探測器所收集到的信號,快速的將缺陷(包括微粒、劃傷、坑點、污染、痕跡等)進行分類,統計每一種缺陷的數量并且量測出相應的缺陷尺寸,后給出整個表面的缺陷分布圖以及檢測報告。根據預先設定的標準,可以給出檢測樣品合格與否的判斷。同時8720型號可以針對化合物GaN外延材料進行高精度的外延缺陷(極細裂痕,凹坑等)檢測,在化合物外延領域擁有很好的市場占有率。

        主要特點:

        ◆ 標準夾具從2英寸到8英寸的樣品; 

        ◆ 可用于不透明及透明的材料的表面缺陷檢測; 

        ◆ 可偵測的缺陷類型:顆粒,劃傷,突起,凹坑,水漬等; 

        ◆ 可偵測化合物GaN外延材料的專有外延缺陷;

        ◆ 自動傳輸模式8720;  

        ◆ 高精度的顆粒缺陷靈敏度(60nm直徑); 

        ◆ 強大的自動缺陷分類、統計分布和判別軟件。缺陷分布圖以及檢測報告內的每一個缺陷都有4個頻道拍到的照片儲存在設備內部,這些照片可以輔助技術人員分析缺陷的成因及進行相關驗證。 

        ◆ 內部的過濾器可以保證內部的潔凈環境為10級,防止內部污染的同時該儀器還能長期保持穩定準確。擁有優秀的售后服務保障體系。

        應用行業:

        ◆ 化合物半導體:GaAs,InP, SiC,GaN 

        ◆ 硅基器件:功率器件,MEMS,射頻MEMS

        ◆ 光通訊:石英材料類

        留言板

        公司名稱:
        聯系人:
        聯系電話:
        郵箱:
        留言內容:
        驗證碼:
        點擊更換驗證碼