1. <object id="auqmx"></object>

    <strike id="auqmx"></strike>
  2. <tr id="auqmx"></tr>
  3. <object id="auqmx"></object>
      <del id="auqmx"></del>

      <pre id="auqmx"></pre>
    1. <center id="auqmx"></center>
    2. <tr id="auqmx"></tr>
      1. 產品中心

        Products

        Candela®8520
        產品概述: KLA Candela?8520表面缺陷及EPI外延缺陷檢測設備是針對化合物半導體行業(Si硅片及SiC基片及SiC外延片)的缺陷檢查分析設備。銷售聯系方式:馬云昊 18918393260。
        設備簡介:

        01.png

        8520.JPG

        捕獲.JPG

        ◆ KLA  Candela?8520表面缺陷及EPI外延缺陷檢測設備是針對化合物半導體行業(Si硅片及SiC基片及SiC外延片)的缺陷檢查分析設備。該設備利用激光掃描樣品的整個表面,通過多組頻道(散射光頻道、反射光頻道、相移頻道及Z頻道)的探測器所收集到的信號,快速的將缺陷(包括微粒、劃傷、坑點、污染、痕跡等)進行分類,統計每一種缺陷的數量并且量測出相應的缺陷尺寸,后給出整個表面的缺陷分布圖以及檢測報告。根據預先設定的標準,可以給出檢測樣品合格與否的判斷。同時可以添加的PL功能可以針對化合物外延材料進行高精度的外延缺陷檢測,在化合物外延領域擁有很高的市場占有率。

        ◆ 適用于Si晶圓,SiC基片及SiC外延片表面缺陷及EPI外延缺陷的檢測分析,包含微粒、劃傷、坑點、污染、痕跡,同時也可以添加PL功能用以檢測某些GaN EPI缺陷及SiC EPI缺陷。該設備可以兼容透明片和不透明片。

        主要特點:

        ◆ 標準夾具從2英寸到8英寸的樣品,也可按需訂制方片和碎片夾具; 

        ◆ 可用于不透明及透明的材料的表面缺陷檢測; 

        ◆ 可偵測的缺陷類型:顆粒,劃傷,突起,凹坑,水漬等; 

        ◆ 可偵測化合物外延材料的專有外延缺陷(包含SiC外延);

        ◆ 手動900和自動傳輸模式920;  

        ◆ 高精度的顆粒缺陷靈敏度(60nm直徑); 

        ◆ 強大的自動缺陷分類、統計分布和判別軟件。缺陷分布圖以及檢測報告內的每一個缺陷都有4個頻道拍到的照片儲存在設備內部,這些照片可以輔助技術人員分析缺陷的成因及進行相關驗證。 

        ◆ 內部的過濾器可以保證內部的潔凈環境為10級,防止內部污染的同時該儀器還能長期保持穩定準確。擁有優秀的售后服務保障體系。

        留言板

        公司名稱:
        聯系人:
        聯系電話:
        郵箱:
        留言內容:
        驗證碼:
        點擊更換驗證碼