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      1. 產品中心

        Products

        Candela®8420/8400
        產品概述: Candela?8420/8400系統服務于光電子、LED、通信和其他化合物半導體市場。銷售聯系方式:馬云昊 18918393260。
        設備簡介:

        ◆ Candela?8420/8400系統服務于光電子、LED、通信和其他化合物半導體市場。改設備采用經典的Candela多通道檢測技術和嚴謹的缺陷分類算法以為客戶實現產品良率為目的。Candela?8420/8400技術采用專有的OSA(光學)表面分析器)架構,通過測量散射強度,形貌變化,樣品表面反射率和相位計算的方式,用以實現大范圍的自動檢測和缺陷分類(DOI);統計每一種缺陷的數量并且量測出相應的缺陷尺寸,后給出整個表面的缺陷分布圖以及檢測報告。根據預先設定的標準,可以給出檢測樣品合格與否的判斷。在化合物外延領域擁有很高的市場占有率。

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        ◆ Candela?8420/8400適用于Si晶圓、GaAs、InP, GaN、藍寶石基片及藍寶石外延片表面缺陷檢測分析,包含微粒、劃傷、坑點、污染、痕跡。該設備可以兼容透明片和不透明片。

        主要特點:

        ◆ 標準夾具從2英寸到8英寸的樣品,也可按需訂制方片和碎片夾具; 

        ◆ 可用于不透明及透明的材料的表面缺陷檢測; 

        ◆ 可偵測的缺陷類型:顆粒,劃傷,突起,凹坑,水漬等; 

        ◆ 用戶可根據產能選擇手動上片型8400或者自動傳輸模式8420;  

        ◆ 高精度的顆粒缺陷靈敏度(80nm直徑); 

        ◆ 強大的自動缺陷分類、統計分布和判別軟件。缺陷分布圖以及檢測報告內的每一個缺陷都有4個頻道拍到的照片儲存在設備內部,這些照片可以輔助技術人員分析缺陷的成因及進行相關驗證。 

        ◆ 內部的過濾器可以保證內部的潔凈環境為10級,防止內部污染的同時該儀器還能長期保持穩定準確。擁有優秀的售后服務保障體系。

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